Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/23757
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | بله، زكیة | - |
dc.contributor.advisor | خلفاوي ،فتحي | - |
dc.contributor.author | رقاقدة،أوريدة | - |
dc.date.accessioned | 2020-10-07T11:25:56Z | - |
dc.date.available | 2020-10-07T11:25:56Z | - |
dc.date.issued | 2020 | - |
dc.identifier.uri | http://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/23757 | - |
dc.description | فیزیاء الإشعاعات | - |
dc.description.abstract | قمنا في هذا العمل بحساب الخصائص الكهربائیة لبلازما غاز SF6المستعملة في جهاز الرش المهبطي المتناوب RF13.56 MHzوهذا بتطبیق نموذج الموائع لنظام مرتبط بالزمن ولبعد واحد. یعتمد هذا النموذج على معادلة الإستمراریة مكملة بمعادلة بواسون. واستخدمنا الصیغة الآسیة لعبارة التدفق وطریقة الفروق المنتهیة للحل العددي لهذه المعادلات؛ كما إستخدمنا الطریقة التكراریة لتوماس للحل البرمجي. النتائج المتحصل علیها للخصائص الكهربائیة للبلازما (الكثافة الإلكترونیة، الكثافة الأیونیة الموجبة والسالبة والكمون الكهربائي) أبدت توافقا مع نتائج باحثین آخرین | en_US |
dc.description.abstract | In this work, we calculated the electrical properties of the SF6 gas plasma used in sputtering with RF 13.56 MHz regime. We applied the fluid model of a one-dimensional time-dependent system. This model is based on the continuity equation and Poisson equation. We used the exponential scheme for the flux expression, the finite difference method and Thomas iterative method to solve numerical solution. The obtained results of the electrical properties of plasma (the electronic density, the positive ionic density, the negative ionic density and the electric potential) are in good agreement with the results of other researchers. | - |
dc.language.iso | other | en_US |
dc.publisher | جامعة قاصدي مرباح ورقلة | - |
dc.subject | بلازما غاز S6-SF6 gas plasma | en_US |
dc.subject | الرش المهبطي المتناوب RF-sputtering-regime | en_US |
dc.subject | الخصائص الكهربائیة-electrical properties | en_US |
dc.subject | الصیغة الآسیة وطریقة الفروق المنتهیة-exponential scheme and finite difference method | en_US |
dc.subject | الطریقة التكراریة لتوماس-Thomas iterative method | en_US |
dc.title | دراسة الخصائص الكهربائية لبلازما غاز SF6في جهاز رش مهبطي متناوب RF | en_US |
dc.type | Thesis | en_US |
Appears in Collections: | département de physique - Master |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Ragag-Aourida.pdf | 1,45 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.