Estimation de la dureté des couches minces déposées

Abstract

Le revêtement en couche mince joue un rôle prépondérant dans la fabrication de nombreux appareils industriels. Le revêtement peut augmenter les performances du matériau en raison du processus de dépôt. Dans cette étude, nous avons faire une estimation pour la dureté des couches minces de nitrure de titane comme outils industriels de protection en utilisant la logique floue. Les résultats trouvés montrent un bon accord entre les résultats expérimentaux et les valeurs prédites obtenues par la logique floue, le pourcentage d’erreur et la précision étaient 2.25%, 97.75% respectivement.

Thin film coating plays a major role in the manufacture of many industrial devices. The coating can increase the performance of the material due to the deposition process. In this study, we made an estimate for the hardness of thin titanium nitride films as industrial protection tools using fuzzy logic. The results found show a good agreement between the experimental results and the predicted values obtained by the fuzzy logic, the percentage error and the precision were 2.25%, 97.75% respectively