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https://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/3083
Title: | OPTIQUE DE MISE EN FORME D’UN FAISCEAU LASER Nd:YAG POUR L’ÉCRITURE DIRECTE |
Authors: | Fodil SISERIR, Slimane MESSAOUD, Abdelkrim ALLAM, Yacine BOUCETTA, Tahar KERDJA, Djamel OUADJAOUT, Tahar TOUAM |
Keywords: | micro-fabrication photo-masque ablation laser laser Nd:YAG photoniques intégrées |
Issue Date: | 19-Dec-2013 |
Abstract: | La photolithographie joue un rôle central dans la micro fabrication des circuits photoniques intégrés (C P I), qui consiste à transférer le motif d’un masque sur un substrat spécifique. Le masque est généralement un substrat en verre sur lequel des motifs micrométriques au chrome sont gravés à l’aide d’un faisceau d’électrons ou d’une source laser. Ce travail constitue la première étape pour la réalisation d’un système à écriture directe par ablation laser en vue de la réalisation de masques. Ce système est constitué d’un laser Nd:YAG de Quantel (model : YG980E), d’un système optique de mise en forme du faisceau, d’une table unidimensionnelle et d’un système électronique de commande-contrôle. Les performances du système optique obtenues ont permis de réaliser de la micro-gravure sur des couches métalliques déposées sur des substrats en verre. La microscopie optique a été utilisée pour caractériser les différentes structures gravées. Des traits de l’ordre de quelques micromètres ont été observés |
Description: | Séminaire National sur le Laser et ses Applications UKM Ouargla 16 et 17 Décembre 2009 |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/3083 |
ISSN: | sam. |
Appears in Collections: | 1. Faculté des mathématiques et des sciences de la matière |
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