Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/3721
Title: | MISE AU POINT ET ETALONNAGE D’UN APPAREIL DE PULVERISATION CATHODIQUE |
Authors: | Brahim GHARBI, Aomar BOUKRAA ,Abdelouahab OUAHAB |
Keywords: | pompes à vide pulvérisation cathodique couches minces magnétron manomètre |
Issue Date: | 22-Dec-2013 |
Series/Report no.: | 2011; |
Abstract: | Dans ce travail nous examinons en détail le principe et les applications d'un appareil de pulvérisation cathodique que l'Université Kasdi Merbah - Ouargla a récemment acquis dans le but de préparer des échantillons de laboratoire (métalliques ou isolants) en couches minces. Le principe de cette technique consiste à extraire des atomes de la surface d'une matière cible par bombardement par des particules énergétiques d'un plasma (ordinairement d'un gaz d’argon formé par Ar, Ar+, e-) et à les déposer sur un substrat pour former des films minces. Dans ce travail, nous décrivons les réglages, les calibrations et les optimisations effectuées sur l’appareil concernant les conditions du dépôt, le vide, la pression du gaz, la puissance délivrée, la distance anode-cathode afin d’obtenir les meilleurs rendements possibles. |
Description: | SIPP 2011 UKM Ouargla 13 15 Fevrier 2011 |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/3721 |
ISSN: | gs |
Appears in Collections: | 1. Faculté des mathématiques et des sciences de la matière |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Brahim GHARBI.pdf | 360,36 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.