ETUDE DE LA MODELISATION A DEUX DIMENSIONS D’UN PLASMA DANS UN PULVERISATEUR CATHODIQUE MAGNETRON

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dc.contributor.author	Zakia BALLAH et Fethi KHELFAOUI	-
dc.date.accessioned	2013-12-22T12:03:23Z	-
dc.date.available	2013-12-22T12:03:23Z	-
dc.date.issued	2013-12-22	-
dc.identifier.issn	sam.	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/3766	-
dc.description	SIPP 2011 UKM Ouargla 13 - 15 February/Février 2011	en_US
dc.description.abstract	Pour étudier les paramètres électriques d’un plasma d'argon utilisé pour la déposition des couches minces de silicium dans un pulvérisateur cathodique magnétron alimenté par une source de tension radiofréquence de fréquence 13.56 MHz, nous appliquons le modèle fluide d'un système stationnaire à deux dimensions. Les propriétés électriques calculées sont la densité électronique, la densité ionique, le champ électrique et le potentiel électrique.	en_US
dc.language.iso	fr	en_US
dc.subject	plasma	en_US
dc.subject	modèle fluide	-
dc.subject	propriétés électriques	-
dc.subject	pulvérisation cathodique magnétron	-
dc.title	ETUDE DE LA MODELISATION A DEUX DIMENSIONS D’UN PLASMA DANS UN PULVERISATEUR CATHODIQUE MAGNETRON	en_US
dc.type	Article	en_US
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