Déconvolution des signaux SIMS préalablement décomposé sur une base d'ondelettes

Abstract

L'objectif de ce travail est l’amélioration de la résolution en profondeur, au-delà de ses limites physiques et instrumentales, de l’analyse par SIMS. Nous traitons l'efficacité et la fiabilité des techniques de déconvolution pour la récupération des profils SIMS dégradés par le système de mesure. Cette nouvelle technique se caractérise par un débruitage à la base d'une transformée en ondelettes régularisée. Il combine les trois idées suivante: La régularisation de Tikhonov; L'analyse en Ondelettes; Algorithme de déconvolution par filtre de Wiener; afin de bénéficier des avantages de chacun. Les profils SIMS ont été obtenues par analyse des différentes structures multi-couches delta-dopage de bore dans une matrice de silicium dans lesquelles a été appliquée l'algorithme de déconvolution; attaqué par le profil obtenu lors de seuillage par ondelettes en premier lieu, puis par le profil dégradé lui même. Les résultats de ce traitement sont très satisfaisants, En particulier l’ordre de grandeurs des gains en résolution en profondeur et en maximum de pics. De plus, les profils déconvolués ne contiennent pas des artefacts qui sont dus principalement à la présence du bruit dans les profils mesurés.