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https://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/3240
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DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | M.M. ALIM, S. DJEROUROU, R. TADJINE, L. HENNI , K. HENDA | - |
dc.date.accessioned | 2013-12-22T09:24:39Z | - |
dc.date.available | 2013-12-22T09:24:39Z | - |
dc.date.issued | 2013-12-22 | - |
dc.identifier.issn | sam. | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/3240 | - |
dc.description | Séminaire National sur le Laser et ses Applications UKM Ouargla 16 et 17 Décembre 2009 math | en_US |
dc.description.abstract | Nous présentons ici les résultats de l’étude spectroscopique de la décharge en mélange (SF6-O2), excitée en RF (13,56 MHz) à basse pression (< 1 Torr) créée dans un réacteur diode symétrique à cathode plane. Dans cette étude, nous avons suivi la raie du fluor atomique 7037 Å en fonction de la pression et de la puissance. | en_US |
dc.language.iso | fr | en_US |
dc.subject | plasma | en_US |
dc.subject | radiofréquence | en_US |
dc.subject | SF6 | en_US |
dc.subject | décharge | en_US |
dc.title | INFLUENCE DE LA PRESSION ET DE LA PUISSANCE SUR L’INTENSITÉ DE LA RAIE 7037 Å DU FLUOR ATOMIQUE DANS UNE DÉCHARGE RF À 13,56 MHZ | en_US |
dc.type | Article | en_US |
Appears in Collections: | 2. Faculté des nouvelles technologies de l’information et de la communication |
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