ETUDE DE LA MODELISATION A DEUX DIMENSIONS D’UN PLASMA DANS UN PULVERISATEUR CATHODIQUE MAGNETRON

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Title:	ETUDE DE LA MODELISATION A DEUX DIMENSIONS D’UN PLASMA DANS UN PULVERISATEUR CATHODIQUE MAGNETRON
Authors:	Zakia BALLAH et Fethi KHELFAOUI
Keywords:	plasma modèle fluide propriétés électriques pulvérisation cathodique magnétron
Issue Date:	22-Dec-2013
Abstract:	Pour étudier les paramètres électriques d’un plasma d'argon utilisé pour la déposition des couches minces de silicium dans un pulvérisateur cathodique magnétron alimenté par une source de tension radiofréquence de fréquence 13.56 MHz, nous appliquons le modèle fluide d'un système stationnaire à deux dimensions. Les propriétés électriques calculées sont la densité électronique, la densité ionique, le champ électrique et le potentiel électrique.
Description:	SIPP 2011 UKM Ouargla 13 - 15 February/Février 2011
URI:	http://hdl.handle.net/123456789/3766
ISSN:	sam.
Appears in Collections:	1. Faculté des mathématiques et des sciences de la matière

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