حساب درجة الحرارة الإلكترونية أثناء تأين غاز الأرغون خلال غرف التفريغ )RF(استقطاب الكهربائي

Abstract

Le gaz Argon a une grande importance en raison de ses nombreuses applications, notamment dans les dispositifs de pulvérisation cathodique utilisés pour créer des couches minces. Notre contribution à l'étude de plasma d'argon. Nous avons au cours de cette étude, la température de l'ionisation du centre du spectre expérimentale en utilisant un spectroscopique et de la façon dont le Boltzmann et ainsi nous proposons le plasma dans le cas d'un équilibre thermique local, et que le centre-particules indépendantes, afin de plus de précision, nous avons utilisé le programme pour tracer les spectres atomiques, qui repose sur les données de la physique atomique, où nous avons préparé un programme de langue numérique le fortran afin d'ajuster les données , et les résultats obtenus ont montré que le plasma à l'équilibre thermique local, et la température électronique est acceptable car il est à la portée de la température du laboratoire par plasma froid (1-5 ev).

The argon is considered of great importance because of its several applications, especially in the sputtering devices used to create thin layers, and our contribution to the study of the argon plasma is that we have calculated the temperature of the ionization of the milieu by empirical spectrum using one of the spectrum ways which is the Boltzmann’s way and this by hypothesizing that plasma is in local temperature balance and that the corpuscles of the milieu are independent. And for more accurate results we have used a software for drawing molecular spectrum. This software relies on nucleonic physical data through making a numeric software by the fortran language for controlling the data in an accurate way .The results obtained proved that the plasma is in local temperature balance and that the electronic temperature is acceptable because it is within the area of cold laboratory temperature of plasma (1-5ev)