حساب الكثافة الإلكترونية لغاز الأرغون خلال جهاز الرش تحت تردد 40 هرتز

Abstract

Pour déterminer les caractéristiques du plasma centre Doit étudier et analyser le spectre émis par eux . Dans ce mémoire sont intéressés par un étude spectrale de certains atomes, ions dans le plasma pendant la préparation des couches minces. Nous avons modélisé le rayonnement émis par la cathode pour plasma dispositif de pulvérisation alimentée par radio fréquence RF tension source fréquence 40 Hz à l'aide d'argon. Le but de cette étude consiste à créer une densité électronique centre et a été utilisé dans cette étude pour simuler le programme numérique spectrale pour calculer le spectre théorique et comparé avec le spectre expérimental afin qu'une application stricte des méthodes spectrales pour analyse. Ou nous sommes exposés à diverses techniques utilisées pour préparer les couches mince comme la cathode dispositif de pulvérisation. Exposé bien à la définition et les caractéristiques du plasma et l'exposition à divers mécanismes responsables de l'exposant les raies spectrales. Les résultats obtenus ont démontré que le plasma dans l'équilibre thermique local, nous permet d'évaluer le calcul de la densité élctronique ) Ne =8.5443.1012 cm-3 ( ..