دراسة مدى اختلال توازن بلازما التفريغ الكهربائي للهيدروجين خلال اجهزة الرش المهبطي

Abstract

Afin d'étudier le degré de déséquilibre Les décharges électriques plasma d'hydrogène nous avons réalisé une étude numérique sur des spectres expérimentaux émis par le plasma lors de déposition sur couches minces de silicium. Les profils de raies et la connaissance de l‘état d’équilibre thermodynamique du milieu sont nécessaires pour réaliser nos études. Nous nous sommes basés sur des bases des données de physiques atomiques des différents éléments du milieu(HI.SiI.SiII.CI…) et de modèle théorique et numérique pour calculer les différentes causes d’élargissements (naturel, Doppler, Stark et expérimental). Les résultats trouvés montrent que le plasma est hors équilibre thermodynamique Local Comme nous avons pu identifier certains des niveaux stables et apparié avec la distribution de Maxwell-Boltzmann. Et l'intervention de l'importance de cette étude à l'avenir pour déterminer les propriétés du plasma comme la densité du centre de température ou d'électrons.