PECVD بطريق Cu حساب احتمالات التفاعل خلال توضع طبقة جرافين على سطح

Abstract

من أجل توضع طبقة رقيقة من الجرافين بواسطة الترسيب الكيميائي للبخار بدعم البلازما PECVD، استعملنا البرمجة العددية بلغة الفورترون قمنا باستعمال محاكاة مونتي كارلو وكمون (9.3) لحساب احتمالات التفاعل على الموقع و و احتمالات التفاعل على السطح وهي معامل الالتصاق و معامل اعادة التركيب و المعامل الاجمالي لمختلف الجذور من أجل درجات حرارة مختلفة للخليط الغازي وكانت النتائج متوافقة مع أعمال أخرى . الكلمات المفتاحية : الجرافين –PECVD – احتمال التفاعل على السطح – طاقة التنشيط أو التحفيز للتفاعل – محاكاة مونتي كارلو.

Pour la déposition d’une couche mince de Garaphéne par le procédé chimique en phase Vapeur assiste par plasma (PECVD) nous avons proposé un calcul numérique en utilisant le langage fortran, la Simulation de Monte Carlo et le potentiel (3.9). Nous avons calculé les probabilités de réactivité sur site et et les probabilités de réactivité à la surface par de collage , la probabilité de recombinaison et la probabilité pour les radicaux par des différentes températures de mélange gazeur , Nos résultats sont en bonne accord avec d’autres travaux. Mots de clef : Garaphéne, PECVD, Probabilité de réactivité à la surface, Energie d’activation, Simulation de Monte Carlo