Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/1493
Title: دراسة في ثلاث أبعاد للمقادير الكهربائية في جهاز الرش المهبطي المغنطروني باستعمال طريقة الحجوم المنتهية
Authors: عبيـد, سعيـدة
خلفاوي فتحي
Keywords: طريقة الحجوم المنتهية
البلازما
الرش المهبطي
الخصائص الإحصائية
الخصائص الكهربائية
Issue Date: 24-Nov-2013
Series/Report no.: 2012;
Abstract: يهتم عملنا هذا بتحديد خصائص بلازما الأرغون Ar (الكثافة الإلكترونية–الكثافة الأيونية–الحقل الكهربائي–الكمون الكهربائي) المستعملة لتوضع طبقات السيليسيوم Siفي مهبط أسطواني. بالإعتماد على طريقة الرش المهبطي المغنطروني المغذى بمصدر جهد متناوب RFذو تردد مذياعي تواتره MHz13.56. استعملنا لحل هذه المسألة نموذج الموائع لنظام مستقر و في تناظر أسطواني. يعتمد نموذج الموائع على معادلة الاستمرارية (للإلكترونات و الأيونات) و معادلة بواسن. للحل العددي لهذه المعادلات التفاضلية إعتمدنا على طريقة الحجوم المنتهية و الطريقة التكرارية غوص-صيدل لحساب الكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية. أما لحساب الحقل الكهربائي فاستعملنا الحساب المباشر. النتائج التي تحصلنا عليها للكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية أبدت توافقا مع نتائج أعمال أخرى. أما عن تأثير الحقل المغناطيسي و بعض الخصائص الماكروسكوبية فتبين لنا أن لهم دور كبير في الزيادة من خصائص البلازما خاصة الكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية (بنسبة %23.63) وبالتالي زيادة مردود الرش المهبطي.
URI: http://hdl.handle.net/123456789/1493
ISSN: h
Appears in Collections:département de physique - Magister

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Abid_Saida.pdf1,66 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.