Etude des mélanges gazeux pour le calcul des propriétés électriques de plasmas à plusieurs composantes ioniques dans un pulvérisateur cathodique en régime RF

Abstract

Notre travail s’intéresse à la détermination des propriétés électriques d'un plasma à plusieurs composantes ioniques d’un mélange gazeux Ar/O2 utilisé pour la déposition des couches minces de silicium dans un pulvérisateur cathodique. Le pulvérisateur est alimenté par une source de tension radiofréquence RF=13,56MHz. Nous appliquons le modèle fluide à une dimension en régime stationnaire pour le calcul des densités nous avons proposé la résolution l’équation de continuité en fonction des coefficients de transport variables dans le mélange et la résolution l’équation de Maxwell pour le calcul de champ électrique. Pour la résolution numérique des équations différentielles, nous avons proposé un programme de calcul numérique en langage fortran. Il utilise la Méthode des Différences Finies et l’algorithme itératif de Gauss-Seidel. Mots clés: diagnostic de plasmas, pulvérisateur cathodique, mélanges gazeux, composantes ioniques, propriétés électriques.