دراسة بالمحاكاة لانتشار الفسفور في الجيرمانيوم

Abstract

يهدف هذا العمل إلى دراسة انتشار الفسفور في الجيرمانيوم و معرفة العوامل المؤثرة على هذا الانتشار. فبعد نمذجة انتشار الفسفور في الجيرمانيوم بالآلية الفجوية آخذين بعين الاعتبار مساهمة الفجوات ثنائية الشحنة السالبة ومحاكاة انتشار الفسفور في الجيرمانيوم، وجدنا أن طاقة التنشيط للفسفور في الج يرمانيوم تقدر ب ، وأن عمق الانتشار يقل بزيادة التركيز المسبق للغاليوم في الجيرمانيوم ويزداد بزيادة كل من درجة الحرارة ، التركيز على السطح و زمن الانتشار

This work aims to study the diffusion of phosphorus in Germanium and knowing the factors influencing in this diffusion. After modeling the diffusion of phosphorus in Germanium by the vacancy mechanism taking into account the contribution of doubly negatively charged vacancies and the simulation of diffusion of phosphorus in Germanium, we found that the phosphorus activation energy in germanium is estimated at 2.93 eV and that the diffusion depth decreases by increasing the preconcentration of gallium in germanium and increasing by increasing the temperature and diffusion time