MESURE DE LA MICRORUGOSITÉ DES SURFACES POLIES DU VERRE OPTIQUE PAR INTERFÉROMÉTRIE À DÉCALAGE DE PHASE

Abstract

L'interférométrie optique est une technique d'analyse des surfaces utilisant le phénomène d'interférence des ondes lumineuses pour faire des mesures extrêmement précises. Le contraste interférentiel transforme la différence du chemin optique imperceptible à l'œil nu en différences dans l'intensité lumineuse qui est fonction des hauteurs des aspérités de la surface examinée. La détection des variations des irrégularités se fait par la quantification des franges d'interférences. Un logiciel adéquat d'analyse des franges consiste à appliquer un algorithme de décalage de phase à « quatre pas » pour déterminer la distribution spatiale de la phase. La rugosité est le résultat d'un calcul statistique sur le profil de la surface déterminé en considérant la différence du chemin optique, le déphasage et la longueur d'onde du laser utilisé.