CARACTÉRISATION OPTIQUE DES COUCHES MINCES PAR ELLIPSOMÈTRE DE MUELLER

Abstract

L’ellipsométrie est une technique optique d’analyse des surfaces, fondée sur la mesure du changement de l’état de polarisation de la lumière laser après réflexion sur une surface plane. C'est une technique non destructive et très sensible aux aspérités de la surface ou de l’interface considérée. Dans notre travail, nous avons voulu tester la possibilité d’utiliser une nouvelle technique ellipsométrique dite ellipsomètre de Mueller pour la caractérisation des propriétés optiques des films de dioxyde de titane (TiO2), en utilisant un faisceau laser polarisé. Nous présentons les procédures expérimentales permettant d’obtenir des matrices de Mueller, et l’exploitation de cette matrice pour la détermination des paramètres ellipsométriques ψ et Δ, ainsi que les constantes optiques n et k.