Capteur MEMS radiofréquence pour la détection de la température

Abstract

Ces travaux de mémoire s’inscrivent dans le cadre de développement d’un nouveau type de capteur de température micrométrique qui se base sur la transduction électromagnétisme. Le capteur est basé sur l’interaction entre la réponse électromagnétique du résonateur en anneau fendu et la déflexion du bilame thermique sous l’effet de la température. L’interrogation sans fil de ce type de capteur RF est basée sur l’analyse du signal rétrodiffusé par le capteur via des antennes par un système de lecture. La configuration du résonateur en anneau fendu (SRR) a montré une bonne corrélation entre la fréquence de résonance et la déformation du bilame.