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https://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/3083
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | Fodil SISERIR, Slimane MESSAOUD, Abdelkrim ALLAM, Yacine BOUCETTA, Tahar KERDJA, Djamel OUADJAOUT, Tahar TOUAM | - |
dc.date.accessioned | 2013-12-19T16:02:05Z | - |
dc.date.available | 2013-12-19T16:02:05Z | - |
dc.date.issued | 2013-12-19 | - |
dc.identifier.issn | sam. | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/3083 | - |
dc.description | Séminaire National sur le Laser et ses Applications UKM Ouargla 16 et 17 Décembre 2009 | en_US |
dc.description.abstract | La photolithographie joue un rôle central dans la micro fabrication des circuits photoniques intégrés (C P I), qui consiste à transférer le motif d’un masque sur un substrat spécifique. Le masque est généralement un substrat en verre sur lequel des motifs micrométriques au chrome sont gravés à l’aide d’un faisceau d’électrons ou d’une source laser. Ce travail constitue la première étape pour la réalisation d’un système à écriture directe par ablation laser en vue de la réalisation de masques. Ce système est constitué d’un laser Nd:YAG de Quantel (model : YG980E), d’un système optique de mise en forme du faisceau, d’une table unidimensionnelle et d’un système électronique de commande-contrôle. Les performances du système optique obtenues ont permis de réaliser de la micro-gravure sur des couches métalliques déposées sur des substrats en verre. La microscopie optique a été utilisée pour caractériser les différentes structures gravées. Des traits de l’ordre de quelques micromètres ont été observés | en_US |
dc.language.iso | fr | en_US |
dc.subject | micro-fabrication | en_US |
dc.subject | photo-masque | en_US |
dc.subject | ablation laser | en_US |
dc.subject | laser Nd:YAG | en_US |
dc.subject | photoniques intégrées | en_US |
dc.title | OPTIQUE DE MISE EN FORME D’UN FAISCEAU LASER Nd:YAG POUR L’ÉCRITURE DIRECTE | en_US |
dc.type | Article | en_US |
Appears in Collections: | 1. Faculté des mathématiques et des sciences de la matière |
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