INFLUENCE DE LA PRESSION ET DE LA PUISSANCE SUR L’INTENSITÉ DE LA RAIE 7037 Å DU FLUOR ATOMIQUE DANS UNE DÉCHARGE RF À 13,56 MHZ

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	M.M. ALIM, S. DJEROUROU, R. TADJINE, L. HENNI , K. HENDA	-
dc.date.accessioned	2013-12-22T09:24:39Z	-
dc.date.available	2013-12-22T09:24:39Z	-
dc.date.issued	2013-12-22	-
dc.identifier.issn	sam.	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/3240	-
dc.description	Séminaire National sur le Laser et ses Applications UKM Ouargla 16 et 17 Décembre 2009 math	en_US
dc.description.abstract	Nous présentons ici les résultats de l’étude spectroscopique de la décharge en mélange (SF6-O2), excitée en RF (13,56 MHz) à basse pression (< 1 Torr) créée dans un réacteur diode symétrique à cathode plane. Dans cette étude, nous avons suivi la raie du fluor atomique 7037 Å en fonction de la pression et de la puissance.	en_US
dc.language.iso	fr	en_US
dc.subject	plasma	en_US
dc.subject	radiofréquence	en_US
dc.subject	SF6	en_US
dc.subject	décharge	en_US
dc.title	INFLUENCE DE LA PRESSION ET DE LA PUISSANCE SUR L’INTENSITÉ DE LA RAIE 7037 Å DU FLUOR ATOMIQUE DANS UNE DÉCHARGE RF À 13,56 MHZ	en_US
dc.type	Article	en_US
Appears in Collections:	2. Faculté des nouvelles technologies de l’information et de la communication

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