Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/3254
Title: MODÉLISATION NUMÉRIQUE DES PROPRIÉTÉS ÉLECTRIQUES D’UN PLASMA (Ar + H2) DANS UN PULVÉRISATEUR CATHODIQUE MAGNÉTRON
Authors: Z. BALLAH + et F. KHELFAOUI
Keywords: plasma
pulvérisation cathodique magnétron
propriétés électriques
modélisation
couches minces
Issue Date: 22-Dec-2013
Series/Report no.: 2009;
Abstract: La déposition des couches minces peut être réalisée par différents procédés : par procédés chimiques en phase vapeur (CVD) et par procédés physiques en phase vapeur (PVD). Le procédé de pulvérisation cathodique est une méthode qui permet de former des couches minces avec une grande vitesse et avec un rendement considérable, l’amélioration de ces couches minces nécessitant un choix approprié du gaz, de la nature de la décharge et des conditions expérimentales. L’ajout de l’hydrogène, lors d’un dépôt par décharge luminescente permet d’augmenter la vitesse de croissance des couches et favorise le mécanisme de transition de l’amorphe à des couches microcristallines. Pour l’étude du plasma, nous avons choisi une méthode théorique. Le modèle fluide peut être utilisé pour le traitement du plasma. Il est basé sur l’équation de continuité, l’équation de transfert de la quantité de mouvement, l’équation d’énergie et l’équation de Poisson. On peut traiter les propriétés électriques d’un plasma mélange d’argon et d’hydrogène utilisé pour la déposition des couches minces par procédés de pulvérisation cathodique magnétron alimenté par une source de tension radiofréquence. On considère le modèle fluide avec un régime stationnaire unidimensionnel. Le traitement est global de toutes les régions entres les deux électrodes. Pour le calcul numérique, nous utilisons la méthode des différences finies et la méthode itérative de Gauss-Seidel.
Description: Workshop National sur l’Hydrogène – Université Kasdi Merbah – Ouargla – 29 Avril 2009
URI: http://hdl.handle.net/123456789/3254
ISSN: nadjet
Appears in Collections:5. Faculté des Sciences de la Nature et de la Vie

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Z. BALLAH.pdf47,77 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.