NOUVELLE TECHNIQUE DE MESURE DE LA PUISSANCE RÉELLE ABSORBÉE PAR UN PLASMA LASER CRÉÉ PAR DÉCHARGE

Abstract

Un dispositif expérimental a été mis au point pour la mesure de la puissance absorbée par un plasma radiofréquence (RF) à couplage capacitif. Il est constitué d’une station courant tension (I-V) non intrusive et à haute résolution, d’un oscilloscope numérique à très forte fréquence d’échantillonnage (5Gcycles/s). L’utilisation de la théorie des réseaux électriques et la méthode Bloomfield de lissage permet d’éliminer les erreurs liées aux éléments électriques parasites de la chambre d’ionisation. Ces éléments sont dus à la nature même du couplage, qui est fortement capacitif. La méthode permet aussi de pallier à la distorsion et aux fluctuations des signaux électriques mesurés. Bien que le système soit conçu pour un plasma 13,56 Mhz pour le traitement de surface, il peut être appliqué pour les lasers à gaz excités en RF (1-100 MHz), moyennant un calibrage dans cette gamme de fréquence.