DISTRIBUTION ANGULAIRE ET TEMPS DE VOL DES IONS PRODUITS SUR CIBLE DE TITANE PAR IRRADIATION LASER

Abstract

La croissance de films minces par ablation laser implique des processus physiques extrêmement complexes. Dans ces expériences, la qualité de la couche et la stochiométrie des dépôts dépendent de paramètres essentiels, entre autre l′énergie des ions et leur distribution angulaire. L’évolution de l’énergie des ions, le nombre d’ions et les distributions angulaires en fonction de l’énergie laser incidente, ont été étudiés au moyen d’un collecteur de charges. Dans cette contribution, nous présenterons les diagrammes polaires en énergie et en nombre d’ions collectés, en irradiant une cible de titane au moyen d’un laser excimère à différentes énergies.