EFFET DE L’ENERGIE DEPOSEE DANS LE PLASMA HAUTE PRESSION SUR LES CARACTERISTIQUES D’UNE LAMPE A EXCIMER

Abstract

Les décharges à barrières diélectriques fonctionnant à haute pression sont de plus en plus utilisées dans l’industrie. Elles font l’objet de nombreuses études et leur utilisation connait de nombreuses applications tels que la génération d’ozone, le dépôt de matériaux, le traitement de surface, la dépollution, les écrans plasma et les lampes à excimères dans le domaine de l’éclairage. Cette étude est réalisée par l’élaboration d’un modèle électrique pour une lampe pompée par une décharge à barrières diélectriques à haute pression contenant le xénon pur. Le but de ce travail est l’étude de l’influence de la tension appliquée sur les paramètres de la décharge. Nous avons considéré un modèle zéro-dimensionnel dans lequel on a couplage entre le plasma, la cinétique des espèces lourdes et le circuit électrique extérieur. Les profiles temporelles des concentrations d’électrons, d’ions et des atomes excités sont obtenus par intégration des équations de transport électronique, couplées à la cinétique des espèces lourdes et au circuit extérieur. La lampe alimentée par une source de tension sinusoïdale à 3kV, 4kV et 5kV est présentée par un circuit électrique équivalent, où le plasma est représenté par une résistance et les diélectriques par une capacité équivalente Cd. Ce modèle nous a permis de déterminer les caractéristiques de la décharge. Les résultats concernent les variations temporelles des paramètres de la décharge pour différentes tensions appliquées.