CARACTERISATION D’UNE DECHARGE A BARRIERE DIELECTRIQUE (DBD) POUR LAMPE A EXCIMERE XeCl*(308nm)

Abstract

Depuis sa commercialisation, la lampe à décharges est une des application des plasmas froids hors équilibre les mieux connues du grand public. Le plasma est créé à l’aide d’une décharge contrôlée par barrière diélectrique (DBD). Ces lampes dites lampes à excimère crée par une DBD ont trouvé ces dernière année des applications industrielles très intéressante tels que l’éclairage, la stérilisation, la microélectronique et la lithographie. L’intérêt de ces décharges provient de leur grande efficacité à produire des espèces actives pour augmenter la réactivité des mélanges gazeux. Ce type de décharges peut être une source de lumière avec un excellent rendement et une faible largeur spectrale dans le domaine recouvrant l’ultraviolet lointain (UVL) et l’ultraviolet (UV). Les bandes spectrales sont fonction de la composition du milieu gazeux (gaz rares purs, mélanges de gaz rares). Ce travail représente une modélisation numérique d’une lampe à décharge à barrières diélectriques contenant le mélange gazeux Xe-Cl2 dans le but de déterminer ses caractéristiques électrique et cinétique. Le modèle comporte 38 réactions impliquant 18 espèces chargées et excitées, où nous tenons compte de l’évolution temporelle des densités des espèces. Le modèle cinétique permet de calculer l’évolution temporelle de la molécule exciplexe XeCl* responsable de l’émission des UV durant l’impulsion de la décharge.