APPLICATIONS INDUSTRIELLES DES PLASMAS FROIDS

Abstract

L’industrie des semi-conducteurs a été la première industrie à utiliser, de manière intensive, les techniques assistées par plasma froid et ce avant les années 80. Les traitements de dépôt ou de gravure s’effectuaient sous pression réduite. Cette large utilisation a permis, par la suite, l’ouverture vers de nombreux domaines tels que l’optique, l’outillage, l’emballage, l’automobile, le biomédical etc. Plus récemment, les techniques de plasma froid à pression atmosphérique ont éliminé le vide pour faciliter le traitement à grande échelle de pièces ou de grandes surfaces (films, bandes). Les propriétés recherchées sont, la résistance à l’usure, l’imperméabilisation par les couches barrières aux gaz et aux arômes, la stérilisation, la protection contre la corrosion, les effets plus spécifiques tels que l’antibactérien, l’antisalissure etc. Cet article rappelle les procédés utilisant les plasmas froids à l’échelle industrielle compatibles avec les exigences de respect de l’environnement et de réduction des coûts grâce à la simplification des équipements et à la limitation de l’usage des traitements en phase humide. Nous passerons en revue à la fois les technologies et les applications en détaillant quelques produits qui font maintenant partie de notre environnement journalier.