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Title: Contribution à l’étude par la simulation numérique de Dynamique Moléculaire de la croissance des couches minces par procédé PECVD
Authors: Fethi, KHELFAOUI
KEBAILI, Hadja Oum Keltoum
Keywords: Déposition
couche mince
Plasma
PECVD
réaction chimique
simulation numérique
DM
Issue Date: 2013
Publisher: UNIVERSITE KASDI MERBAH - OUARGLA
Abstract: Dans ce mémoire nous nous intéressons à l’étude de p robabilités associées a u x divers événements de l’interaction plasmas - surface lors de croissance de couche mince a - Si:H. par procédé PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Le plasma utilisé est le mélange silane - hydrogène (SiH 4 /H 2 ), dans un réacteur RF de 13,56 MHz. Les électrons et les radicaux SiH x ( x =1 ,2,3 ) et H existants dans le volume réagissent avec la surface d’un substrat en silicium hydrogéné selon l' énergie d'activation . Les collision s radicaux - surface effectuent l'adsorption physique , chimique , désorption et l es réactions chimiques lors de la déposition . Nous modélisons par simulation numérique de dynamique moléculaire ( DM ) en utilisant le potentiel de Lennard – Jones (3 - 9) pour le calcul d es valeurs de réactivité β k , des coefficients de collage s k et de recombinaisons γ k de différents radicaux . Deux autre s propriétés , le taux d'occupation à la surfa ce en (Si - ) et (Si - H) et le taux de déposition sont calculé s . Nous compar ons nos résultats avec les résultats expérimentaux et de la simulation par la DM de Valipa et ses collaborateurs et d'autres auteurs
Description: Physique des matériaux
URI: http://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/7742
ISSN: YA
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