SIMULATION PAR LA METHODE DE MONTE-CARLO DE L’EVOLUTION DES PARAMETRES DE LA FONCTION DE RESOLUTION EN PROFONDEUR D’UN SYSTEME D’ANALYSE IONIQUE

Abstract

Si on souhaite comparer les résultats provenant de diverses mesures, faites ou non dans les mêmes conditions expérimentales, il est préférable d’exprimer la fonction de résolution en profondeur en fonction des paramètres analytiques ajustables, plutôt que de travailler sur des DRF numériques (expérimentales). Caractériser la DRF par une forme analytique, par fittage, possède plusieurs avantages à savoir : Le fittage effectue un lissage local de la courbe, adaptation du pas d’échantillonnage avec la la vitesse d’érosion, La modélisation de la DRF permet donc d’effectuer la déconvolution sans avoir à faire une mesure de delta-dopage, de la DRF peut être extrapolée sur une grande dynamique, avec une bonne fonction de fittage pour la DRF, on peut prévoir de manière analytique le profil SIMS d’une structure particulière supposée connue. En définitif, l’objectif de ce sujet est de suivre l’évolution des paramètres de la DRF en fonction des énergies et angles des ions primaires, ainsi de pour voir modéliser ses paramètres en fonction des caractéristiques physique des ions primaires