دراسة الخصائص الكهربائية لبلازما غاز SF6في جهاز رش مهبطي متناوب RF

Abstract

قمنا في هذا العمل بحساب الخصائص الكهربائیة لبلازما غاز SF6المستعملة في جهاز الرش المهبطي المتناوب RF13.56 MHzوهذا بتطبیق نموذج الموائع لنظام مرتبط بالزمن ولبعد واحد. یعتمد هذا النموذج على معادلة الإستمراریة مكملة بمعادلة بواسون. واستخدمنا الصیغة الآسیة لعبارة التدفق وطریقة الفروق المنتهیة للحل العددي لهذه المعادلات؛ كما إستخدمنا الطریقة التكراریة لتوماس للحل البرمجي. النتائج المتحصل علیها للخصائص الكهربائیة للبلازما (الكثافة الإلكترونیة، الكثافة الأیونیة الموجبة والسالبة والكمون الكهربائي) أبدت توافقا مع نتائج باحثین آخرین

In this work, we calculated the electrical properties of the SF6 gas plasma used in sputtering with RF 13.56 MHz regime. We applied the fluid model of a one-dimensional time-dependent system. This model is based on the continuity equation and Poisson equation. We used the exponential scheme for the flux expression, the finite difference method and Thomas iterative method to solve numerical solution. The obtained results of the electrical properties of plasma (the electronic density, the positive ionic density, the negative ionic density and the electric potential) are in good agreement with the results of other researchers.