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https://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/3240
Title: | INFLUENCE DE LA PRESSION ET DE LA PUISSANCE SUR L’INTENSITÉ DE LA RAIE 7037 Å DU FLUOR ATOMIQUE DANS UNE DÉCHARGE RF À 13,56 MHZ |
Authors: | M.M. ALIM, S. DJEROUROU, R. TADJINE, L. HENNI , K. HENDA |
Keywords: | plasma radiofréquence SF6 décharge |
Issue Date: | 22-Dec-2013 |
Abstract: | Nous présentons ici les résultats de l’étude spectroscopique de la décharge en mélange (SF6-O2), excitée en RF (13,56 MHz) à basse pression (< 1 Torr) créée dans un réacteur diode symétrique à cathode plane. Dans cette étude, nous avons suivi la raie du fluor atomique 7037 Å en fonction de la pression et de la puissance. |
Description: | Séminaire National sur le Laser et ses Applications UKM Ouargla 16 et 17 Décembre 2009 math |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/3240 |
ISSN: | sam. |
Appears in Collections: | 2. Faculté des nouvelles technologies de l’information et de la communication |
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