Développement de films minces d’oxydes transparents conducteurs

Abstract

Dans ce travail de master, nous avons préparé des couches minces d'oxydes ZnO pure et ZnO dopé par Nickel 2 et 8%at (ZN2, ZN8) par la méthode spray pyrolyse sur des substrats en verre chauffés à 450°C. Les couches préparées ont été analysées par les techniques de la diffraction X, la spectrométrie UV-visible et spectroscopy des lignes noires (m-lines). La structure des couches minces de ZnO est hexagonale de type wurtzite et une orientation préférentielle suivant l'axe (002) confondue avec l'axe c perpendiculaire à la surface de substrats . La taille des cristallites, déduite des mesures DRX, varie entre environ 20 et 19 nm. Les couches étudiées admettent une transmission optique dans le visible de 70-90%. Les bandes optiques interdites, déduites de la transmittance, sont 3.28 et 3.22 eV pour ZnO dopé et non dopé. Les mesures de lignes noires montrent que le film ZnO pure est monomode (TE, et TM.) et ZnO dopé (ZN2,ZN8) sont deux modes (TE et TM). Ces mesures ont permis de déduire les valeurs des épaisseurs et des indices de réfraction sont 356 nm et 1,935 pour ZN0 et 336 nm et 1,941 pour ZN2, 288 et 1.964 nm pour ZN8.