(ICP)في البلازما المقترنة بالحثSiH4/O2 حساب تراكيز الجسيمات الحيادية والأيونات لخليط الغاز

Abstract

: تهتم دراستنا هاته بحساب تراكيز الجسيمات الحيادية و الأيونات لخليط الغاز SiH4/O2 الذي يستعمل غالبا في توضع الطبقات الرقيقة بواسطة بلازما المقترنة بالحث (ICP). نركز في عملنا على 20 جسيم حيادي، 15 ايون، 85 تفاعل كيميائي داخل المفاعل بأخذ بعين الاعتبار الشروط التي استخدمها S. Tinck and A. Bogaerts (2012) (Pgaz=10mTorr , Te=4eV, Tgaz=380K) . قمنا بانجاز برنامج عددي بلغة Fortran77 لحساب ثوابت التفاعلات الكيميائية و معاملات الانتشار ومعاملات الحركية والتراكيز لكل من الجسيمات الحيادية والأيونات. ويعتمد برنامجنا على نموذج الموائع ( معادلة الاستمرارية ) ومعادلة بواسون وطريقة الفروق المنتهية وخوارزمية غوص صايدل التكرارية.

this study is concerned with calculating the concentrations of neutral particles and ions of the SiH4/O2gaz mixture that is of tear used in laying thin layers by inductively coupled plasma ICP. In our work, we focus on 20 neutral particles, 15 ions, chemical reactions inside the reactor, taking into account the conditions le used S. Tink and A. Bogaerts (Pgaz=10mTorr, Te=4eV, Tgaz= 380k). we have implemented a numerical program in the langrage of Fortran77 to calculated the chemical reaction constants, diffusion coefficient, kinetic coefficient and concentration for each of the neutral particles and ions. Our program is based on the fluid model(continuity equation), Poisson equation, Finite Differences Method and algorithm iterative of Gauss-Seidel.