INFLUENCE DE LA PRESSION ET DE LA PUISSANCE SUR L’INTENSITÉ DE LA RAIE 7037 Å DU FLUOR ATOMIQUE DANS UNE DÉCHARGE RF À 13,56 MHZ

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Title:	INFLUENCE DE LA PRESSION ET DE LA PUISSANCE SUR L’INTENSITÉ DE LA RAIE 7037 Å DU FLUOR ATOMIQUE DANS UNE DÉCHARGE RF À 13,56 MHZ
Authors:	M.M. ALIM, S. DJEROUROU, R. TADJINE, L. HENNI , K. HENDA
Keywords:	plasma radiofréquence SF6 décharge
Issue Date:	22-Dec-2013
Abstract:	Nous présentons ici les résultats de l’étude spectroscopique de la décharge en mélange (SF6-O2), excitée en RF (13,56 MHz) à basse pression (< 1 Torr) créée dans un réacteur diode symétrique à cathode plane. Dans cette étude, nous avons suivi la raie du fluor atomique 7037 Å en fonction de la pression et de la puissance.
Description:	Séminaire National sur le Laser et ses Applications UKM Ouargla 16 et 17 Décembre 2009 math
URI:	http://hdl.handle.net/123456789/3240
ISSN:	sam.
Appears in Collections:	2. Faculté des nouvelles technologies de l’information et de la communication

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