Débruitage du signal secondaire de l’analyse par spectrométrie de masse des ions secondaires en utilisant les ondelettes

Abstract

Cette recherche vise à appliquer des techniques de traitement du signal pour améliorer la résolution en profondeur de l'analyse par spectrométrie de masse d'ions secondaires (SIMS) en microélectronique. La miniaturisation des dispositifs électroniques nécessite l'utilisation de techniques de couches minces et ultra-minces, et une caractérisation précise de ces dispositifs est essentielle. Bien que l'analyse SIMS soit largement utilisée, il est nécessaire d'aller au-delà des résultats expérimentaux bruts en ajoutant un traitement numérique pour obtenir une meilleure approximation du profil réel. Dans cette étude, les techniques de débruitage, en particulier la décomposition en ondelettes, ont été explorées. La transformée en ondelettes permet au signal d'être décomposé en différentes composantes de fréquence, qui peuvent ensuite être traitées individuellement pour réduire le bruit et améliorer la qualité du signal. L'étude souligne l'importance de choisir le niveau de décomposition et le type d'ondelettes pour obtenir de meilleurs résultats. Les méthodes de décomposition basées sur les ondelettes ont montré une amélioration significative du rapport signal sur bruit (SNR) pour les signaux SIMS simulés et expérimentaux. En conclusion, cette étude démontre l'efficacité des techniques de décomposition basées sur les ondelettes pour améliorer la qualité du signal et faciliter l'interprétation précise des profils SIMS.