DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/21171| Title: | وضع المعادلات لدراسة توضع الطبقات الرقيقة لمزيج غازي بواسطة تقنية PECVD-DECR |
| Authors: | برقوق, السعدیة خلفاوي, فتحي |
| Keywords: | PECVD DECR نموذج الموائع معادلة الاستمرارية معادلة بواسون غاز الأرغون تفاعلات الحركية الكيميائية طريقة الفروق المنتهية |
| Issue Date: | 28-Apr-2019 |
| Series/Report no.: | ;2019 |
| Abstract: | تقنية توضع الطبقات الرقيقة بواسطة بلازما الرنين السيكلوتروني (PECVD – ECR)تعد من التقنيات الأكثر استخداما في مجال الصناعة والإلكترونيات الدقيقة، تسمح هاته التقنية بالترسيب مختلف أنواع المواد [1]. يستعمل ترسيب السيليسيوم باستعمال هاته التقنية في عدة تطبيقات ضوئية . في دراستنا قمنا بتحضير النمذجة العددية لدراسة الخصائص الكهربائية (الكثافة الإلكترونية ne، الكثافة الأيونية niو كثافة الجسيمات الحيادية nn و الحقل الكهربائي) لغاز الأرغون داخل مفاعل توزيع الرنين السيكلوتروني Distributed Electron Cyclotron Resonance (DECR) في بعد واحد Zوباعتبار النظام مستقر. وقد استعنا في الدراسة بنموذج الموائع و بتحديد معادلة الاستمرارية و معادلة بواسون. بانجاز برنامج عددي بلغة الفورتران 77 وبتطبيق طريقة الفروق المنتهية وغوص صايدل التكرارية نتمكن من حساب توزيع الكثافات على طول المحور Z . |
| Description: | جامعة قاصدي مرباح ورقلة كلية الرياضيات وعلوم المادة قسم الفيزياء |
| URI: | http://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/21171 |
| Appears in Collections: | département de physique Mastériales |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Bergoug_Sadia_Masteriales2019pdf.pdf | 1,42 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.