Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/21171
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | برقوق, السعدیة | - |
dc.contributor.author | خلفاوي, فتحي | - |
dc.date.accessioned | 2019-07-07T09:19:47Z | - |
dc.date.available | 2019-07-07T09:19:47Z | - |
dc.date.issued | 2019-04-28 | - |
dc.identifier.uri | http://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/21171 | - |
dc.description | جامعة قاصدي مرباح ورقلة كلية الرياضيات وعلوم المادة قسم الفيزياء | en_US |
dc.description.abstract | تقنية توضع الطبقات الرقيقة بواسطة بلازما الرنين السيكلوتروني (PECVD – ECR)تعد من التقنيات الأكثر استخداما في مجال الصناعة والإلكترونيات الدقيقة، تسمح هاته التقنية بالترسيب مختلف أنواع المواد [1]. يستعمل ترسيب السيليسيوم باستعمال هاته التقنية في عدة تطبيقات ضوئية . في دراستنا قمنا بتحضير النمذجة العددية لدراسة الخصائص الكهربائية (الكثافة الإلكترونية ne، الكثافة الأيونية niو كثافة الجسيمات الحيادية nn و الحقل الكهربائي) لغاز الأرغون داخل مفاعل توزيع الرنين السيكلوتروني Distributed Electron Cyclotron Resonance (DECR) في بعد واحد Zوباعتبار النظام مستقر. وقد استعنا في الدراسة بنموذج الموائع و بتحديد معادلة الاستمرارية و معادلة بواسون. بانجاز برنامج عددي بلغة الفورتران 77 وبتطبيق طريقة الفروق المنتهية وغوص صايدل التكرارية نتمكن من حساب توزيع الكثافات على طول المحور Z . | en_US |
dc.language.iso | other | en_US |
dc.relation.ispartofseries | ;2019 | - |
dc.subject | PECVD | en_US |
dc.subject | DECR | en_US |
dc.subject | نموذج الموائع | en_US |
dc.subject | معادلة الاستمرارية | en_US |
dc.subject | معادلة بواسون | en_US |
dc.subject | غاز الأرغون | en_US |
dc.subject | تفاعلات الحركية الكيميائية | en_US |
dc.subject | طريقة الفروق المنتهية | en_US |
dc.title | وضع المعادلات لدراسة توضع الطبقات الرقيقة لمزيج غازي بواسطة تقنية PECVD-DECR | en_US |
dc.type | Presentation | en_US |
Appears in Collections: | département de physique Mastériales |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Bergoug_Sadia_Masteriales2019pdf.pdf | 1,42 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.