Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/21171
Title: | وضع المعادلات لدراسة توضع الطبقات الرقيقة لمزيج غازي بواسطة تقنية PECVD-DECR |
Authors: | برقوق, السعدیة خلفاوي, فتحي |
Keywords: | PECVD DECR نموذج الموائع معادلة الاستمرارية معادلة بواسون غاز الأرغون تفاعلات الحركية الكيميائية طريقة الفروق المنتهية |
Issue Date: | 28-Apr-2019 |
Series/Report no.: | ;2019 |
Abstract: | تقنية توضع الطبقات الرقيقة بواسطة بلازما الرنين السيكلوتروني (PECVD – ECR)تعد من التقنيات الأكثر استخداما في مجال الصناعة والإلكترونيات الدقيقة، تسمح هاته التقنية بالترسيب مختلف أنواع المواد [1]. يستعمل ترسيب السيليسيوم باستعمال هاته التقنية في عدة تطبيقات ضوئية . في دراستنا قمنا بتحضير النمذجة العددية لدراسة الخصائص الكهربائية (الكثافة الإلكترونية ne، الكثافة الأيونية niو كثافة الجسيمات الحيادية nn و الحقل الكهربائي) لغاز الأرغون داخل مفاعل توزيع الرنين السيكلوتروني Distributed Electron Cyclotron Resonance (DECR) في بعد واحد Zوباعتبار النظام مستقر. وقد استعنا في الدراسة بنموذج الموائع و بتحديد معادلة الاستمرارية و معادلة بواسون. بانجاز برنامج عددي بلغة الفورتران 77 وبتطبيق طريقة الفروق المنتهية وغوص صايدل التكرارية نتمكن من حساب توزيع الكثافات على طول المحور Z . |
Description: | جامعة قاصدي مرباح ورقلة كلية الرياضيات وعلوم المادة قسم الفيزياء |
URI: | http://dspace.univ-ouargla.dz/jspui/handle/123456789/21171 |
Appears in Collections: | département de physique Mastériales |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Bergoug_Sadia_Masteriales2019pdf.pdf | 1,42 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.